SYGEF Ultra

SYGEF Ultra là giải pháp ống dẫn PEEK độ tinh khiết cao tiên tiến cho việc vận chuyển (nóng) nước siêu tinh khiết tại các nhà máy sản xuất bán dẫn. Được thiết kế để đáp ứng nhu cầu sản xuất chip trong tương lai.

Trao đổi với Chuyên gia Danh mục sản phẩm

Bạn đã sẵn sàng cho Kỷ nguyên Ångström?

Khi cấu trúc chip thu hẹp tới mức kích thước nguyên tử, thậm chí những ô nhiễm nhỏ nhất cũng trở nên quan trọng. Các vật liệu truyền thống đang đạt đến giới hạn, trong khi các nhà máy đang phải đối mặt với áp lực ngày càng tăng từ các yêu cầu tinh khiết cực độ, đẩy nhanh quá trình vận hành, mục tiêu phát triển bền vững và các hạn chế liên quan đến PFAS. Trong sản xuất bán dẫn thế hệ mới, chất lượng nước siêu tinh khiết (nóng) ((H)UPW) không còn chỉ là một yêu cầu quy trình. Nó là yếu tố chiến lược quyết định hiệu suất, độ tin cậy và lộ trình đổi mới.

SYGEF Ultra được thiết kế chính xác cho sự chuyển đổi này. Giải pháp này kết hợp hiệu suất độ tinh khiết cao, tăng tốc vận hành hệ thống và phương pháp lựa chọn vật liệu hướng tới tương lai trong một giải pháp ống dẫn tích hợp, được kỹ sư dành riêng cho các công nghệ như Gate-All-Around (GAA), transistor Complementary Field-Effect (CFET) và các công nghệ tiên tiến hơn nữa.

Thiết kế cho độ tinh khiết, tốc độ và sẵn sàng cho tương lai

SYGEF Ultra được thiết kế để đáp ứng yêu cầu tinh khiết ngày càng tăng của ngành sản xuất bán dẫn tiên tiến. Đặc tính vật liệu hỗ trợ hiệu suất thấp nhiễm bẩn và đảm bảo vận chuyển UPW ổn định. Đồng thời, hệ thống cho phép giảm đáng kể thời gian xả và giúp nhà máy chuyển nhanh từ lắp đặt sang vận hành. Với PEEK-HP, SYGEF Ultra còn mang lại vật liệu không chứa fluoropolymer phù hợp với các quy định ngày càng khắt khe, với tuổi thọ vận hành an toàn dự kiến trên 25 năm.

Tìm hiểu thêm về hệ thống

Được xây dựng cho hệ thống (H)UPW tiên tiến

SYGEF Ultra được thiết kế cho các ứng dụng nước siêu tinh khiết nóng và thường trong hệ thống xử lý và phân phối tại các nhà máy sản xuất bán dẫn. Hệ thống đáp ứng sử dụng trong vòng tuần hoàn và nối thiết bị, nơi yêu cầu độ tinh khiết ổn định và hiệu suất hệ thống là yếu tố then chốt. Hệ thống tích hợp liền mạch vào các cơ sở hạ tầng nhà máy phức tạp và vượt qua các tiêu chuẩn khắc khe trong tương lai của International Roadmap for Devices and Systems (IRDS).

Đằng sau đổi mới

Đáp ứng nhu cầu thị trường thành đổi mới khi tiêu chuẩn tinh khiết tăng nhanh chưa từng có: chúng tôi đã trao đổi với các chuyên gia đứng sau dự án để khám phá cách các giải pháp của ngày mai đang được phát triển - từ vật liệu tiên tiến và thách thức cực đại cho đến thực tế vận hành tại nhà máy.

Xem toàn bộ câu chuyện

Giải pháp toàn diện cho xử lý lưu chất trong ngành vi điện tử

30 năm kinh nghiệm trong ngành

GF hỗ trợ các nhà máy bán dẫn với các giải pháp nước được xây dựng dành riêng cho môi trường sản xuất khắt khe. Với nhiều thập kỷ kinh nghiệm, chúng tôi mang tới các hệ thống đáp ứng các yêu cầu về độ tinh khiết cũng như tính ổn định cao từ đầu nguồn nước cho đến điểm sử dụng. 

Giải pháp toàn diện cho (H)UPW

SYGEF Ultra là thành phần trong danh mục toàn diện của chúng tôi về vận chuyển, tuần hoàn và phân phối nước siêu tinh khiết (nóng) trong sản xuất bán dẫn, bổ sung cho các giải pháp PVDF, PVDF-HP và PP của chúng tôi.

Xử lý nước thải

Giải pháp polymer đáng tin cậy kháng hóa chất cho mạng lưới chất thải tách biệt, không nhiễm bẩn và tích hợp các môi trường nguy hại hoặc hóa chất độ tinh khiết cao.

 

 

Làm mát quy trình công nghiệp

Hệ thống ống dẫn kỹ thuật phục vụ làm mát quy trình trong ngành vi điện tử, được thiết kế giúp loại bỏ nhiệt từ thiết bị bán dẫn và duy trì điều kiện vận hành ổn định.

 

 

Các câu hỏi thường gặp

Những ứng dụng (H)UPW nào phù hợp nhất với SYGEF Ultra?

SYGEF Ultra là giải pháp tối ưu cho việc vận chuyển (H)UPW hiệu quả cho các công nghệ quy trình tiên tiến nhất (<10nm cho tới giới hạn vật lý). Được phát triển hướng tới nhu cầu bán dẫn thế hệ mới, sản phẩm này đáp ứng tương lai cho kỷ nguyên angstrom, hỗ trợ cả ứng dụng nước siêu tinh khiết nóng lẫn thường. Tính chất vật liệu tinh khiết cao và khả năng kháng hóa chất giúp sản phẩm lý tưởng cho toàn bộ dây chuyền xử lý và phân phối nước siêu tinh khiết—bao gồm hệ trung tâm, vòng tuần hoàn và nối thiết bị tại điểm sử dụng.

Danh mục SYGEF Ultra (PEEK-HP) cung cấp những gì?

GF phát triển SYGEF Ultra cho các hệ thống nước siêu tinh khiết nóng và thường phục vụ công nghệ bán dẫn thế hệ mới. Danh mục sản phẩm bao gồm Ống PEEK, Phụ kiện PEEK và Van PEEK (PN 16) với các kích thước: d20; d25; d32; d50; d63; d90; d110; d160. GF đã phát triển công nghệ ghép nối chuyên biệt, được hỗ trợ bởi quy trình Đảm bảo chất lượng và Kiểm soát chất lượng (QA/QC) tích hợp, đảm bảo mối nối an toàn, ổn định nhất quán trên toàn hệ ống dẫn.

Khám phá danh mục SYGEF Ultra

SYGEF Ultra được cung cấp theo mô hình giải pháp lắp ráp sẵn:

  • Giao hàng sẵn lắp đặt với các bộ giá treo ống PEEK-HP, cụm ống độ tinh khiết cao, skids, cụm vòng tuần hoàn và nối thiết bị được lắp ráp trước
  • Thiết kế phân tích ứng suất và hỗ trợ tại nhà máy tối ưu cho phòng sạch, kiểm soát giãn nở nhiệt và rung động trong môi trường tinh khiết cao.
  • Giao hàng đúng hẹn, đúng tiêu chuẩn

Hệ thống hiệu suất cao này được củng cố bởi dải sản phẩm giải pháp dòng chảy trọn vẹn của GF bao gồm ống, phụ kiện, van và công nghệ hàn, được thiết kế dành riêng cho ứng dụng siêu tinh khiết. 

Khám phá danh mục Vi điện tử của GF

Quy trình kiểm tra diễn ra như thế nào?

Thời gian xả được xác định dựa trên kiểm nghiệm do CT Associates thực hiện trong điều kiện kiểm soát. Kịch bản kiểm tra gồm một hệ thống lắp đặt ống PEEK và hai đoạn cuộn PVDF-HP dài 5m, mô phỏng ứng dụng thực tế. Toàn bộ thí nghiệm tiến hành ở nhiệt độ UPW 85 °C.

Để tìm hiểu chi tiết về quy trình kiểm tra, vui lòng liên hệ chuyên gia của chúng tôi.

Tại sao PEEK-HP là vật liệu lý tưởng cho sản xuất bán dẫn thế hệ mới?

PEEK (polyether ether ketone) được ứng dụng rộng rãi trong sản xuất bán dẫn bởi nó kết hợp được độ tinh khiết cao và tính ổn định nhiệt—tất cả đều tối quan trọng trong môi trường sản xuất siêu sạch. Hệ SYGEF Ultra sử dụng loại Polyether Ether Ketone độ tinh khiết cao (PEEK) chuyên biệt, là polymer hiệu suất cao nổi bật về khả năng vận hành vượt trội trong môi trường công nghiệp khắt khe. Sản phẩm kết hợp sức bền cơ học ở nhiệt độ cao, khả năng kháng va đập cùng mức độ tinh khiết vượt xa tiêu chuẩn SEMI F57. Cụ thể,\ PEEK giữ vững các đặc tính cơ lý tại nhiệt độ vận hành liên tục lên tới 250°C, đồng thời có hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ ổn định kích thước cao. Đối với ứng dụng độ tinh khiết cao, PEEK sở hữu mức hòa tan cực thấp về hàm lượng TOC và nhiễm ion do vật liệu có thể sản xuất và sử dụng không chứa phụ gia. Các đặc tính này đặc biệt phù hợp với hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW) và nước siêu tinh khiết nóng (HUPW) cho sản xuất bán dẫn, nơi tiêu chuẩn tinh khiết ở mức cao nhất cần được duy trì ngay cả dưới điều kiện nhiệt độ và áp suất cao.

Để tìm hiểu thêm về hành vi vật liệu, xin tham khảo Kiến thức nền tảng ngành. 

Tầm quan trọng ngày càng tăng của các vật liệu này đã được phản ánh qua International Roadmap for Devices and Systems (IRDS), xây dựng các giới hạn ô nhiễm ngày càng khắt khe nhờ các kiến trúc thiết bị tiên tiến như Gate-All-Around (GAA) và Complementary FET (CFET). Khi kích thước thiết bị ngày càng thu nhỏ tới quy mô ångström, yêu cầu kiểm soát nhiễm bẩn ngày càng nghiêm ngặt với tiêu chuẩn đạt mức sub-ppb (phần tỷ) và thậm chí ppt (phần nghìn tỷ).1 

1 IRDS (2023) International Roadmap for Devices and Systems: 2023 Edition. IEEE. Có tại: https://irds.ieee.org (Truy cập: 5/5/2026).

Kỷ nguyên Ångström là gì?

Kỷ nguyên Ångström đánh dấu giai đoạn tiếp theo trong sản xuất bán dẫn, khi các đặc tính chip quan trọng không còn được đo bằng nanomet mà bằng ångström (Å). Ở thang đo này, kích thước transistor tiến sát tới quy mô nguyên tử, chạm tới giới hạn thu nhỏ cực trị. Khi Định luật Moore phát triển, kích thước tính năng đã thu nhỏ dần từ micromet sang nanomet—và hiện đang tiến vào phạm vi ångström.

Chuyển đổi này tác động trực tiếp đến tiêu chuẩn nước siêu tinh khiết (UPW) trong sản xuất bán dẫn. Khi kích thước thiết bị càng nhỏ, tiêu chuẩn tinh khiết càng khắt khe, đồng thời hệ thống trở nên phức tạp hơn nhằm kiểm soát nhiễm bẩn ở cấp độ gần như nguyên tử.

Hệ thống SYGEF Ultra mới được phát triển nhằm đáp ứng chính xác các nhu cầu thay đổi này. Nó giúp các nhà sản xuất bán dẫn tiên tiến bắt kịp các xu hướng của ngành như yêu cầu hiệu năng do AI dẫn dắt, tiếp tục thu nhỏ node và mục tiêu phát triển bền vững ngày càng cao.

Thuật ngữ “Kỷ nguyên Ångström” được Intel giới thiệu vào năm 2021 khi cập nhật cách gọi các công đoạn công nghệ bán dẫn, đánh dấu bước chuyển từ công nghệ nanomet sang quy mô ångström (ví dụ: Intel 20A, 18A), được công bố tại sự kiện Intel Accelerated.2

2 Intel, “Intel Accelerated: Process and Packaging Innovations”, 26/7/2021.

Hệ SYGEF Ultra tuân thủ các tiêu chuẩn toàn cầu như thế nào?

Hệ thống SYGEF Ultra (PEEK-HP) được phát triển dựa trên thực tiễn và nguyên lý thiết kế được quốc tế công nhận trong ngành. Là một hệ thống đột phá, các tiêu chuẩn quốc tế chuyên biệt cho sản phẩm này vẫn chưa hoàn toàn được thiết lập. 

SYGEF Ultra tuân thủ các tiêu chuẩn sau:

  • DIN
  • DVS

Bên cạnh đó, thiết kế hệ thống, phương pháp kiểm chứng và yêu cầu hiệu năng dựa trên các tiêu chuẩn liên quan, như:

  • ISO
  • EN
  • ASTM
  • SEMI

Để biết thêm chi tiết, vui lòng tham khảo tài liệu Kiến thức nền tảng lập kế hoạch của chúng tôi.

Tại sao PEEK không phải vật liệu PFAS?

PFAS được định nghĩa bởi Tổ chức Hợp tác và Phát triển Kinh tế (OECD) [1] là “các chất có flo có chứa ít nhất một nguyên tử cacbon nhóm methyl hoặc methylene hoàn toàn flo hóa (không gắn thêm H/Cl/Br/I), nghĩa là, ngoại trừ một vài trường hợp, bất kỳ hóa chất nào có ít nhất một nhóm methyl perfluorinated (–CF3) hoặc một nhóm methylene perfluorinated (–CF2–) đều là PFAS.” Định nghĩa OECD này cũng đang được áp dụng trong dự thảo đề xuất hạn chế nằm trong Quy định (EC) số 1907/2006 (Quy định REACH).

SYGEF Ultra là hệ thống ống dẫn được sản xuất từ PolyEtherEtherKetone (PEEK). Hạt nhựa PEEK dùng để sản xuất không đáp ứng định nghĩa trên của OECD về PFAS. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng vật liệu gioăng và vật liệu làm kín phổ biến như fluoroelastomer (FKM) và polytetrafluoroethylene (PTFE) là các vật liệu có flo nên không được coi là không chứa PFAS. Do đó, hệ thống ống dẫn SYGEF Ultra không được coi là hoàn toàn không chứa PFAS.

[1] OECD (2021), Reconciling Terminology of the Universe of Per- and Polyfluoroalkyl Substances: Recommendations and Practical Guidance, Kỷ yếu về Quản lý Rủi ro số 61, OECD Publishing, Paris. Có tại: https://www.oecd.org/chemicalsafety/portal-perfluorinated-chemicals/terminology-per-and-polyfluoroalkyl-substances.pdf

[2] Cơ quan Hóa chất châu Âu (ECHA) (2023), Đề xuất hạn chế Per- và Polyfluoroalkyl Substances (PFAS) theo REACH, Các hạn chế đang được xem xét, European Chemicals Agency, Helsinki. Có tại: https://echa.europa.eu/restrictions-under-consideration/-/substance-rev/72301/term