SYGEF Ultra

SYGEF Ultra is de geavanceerde, uiterst zuivere oplossing voor PEEK-leidingen voor het transport van (heet) ultrazuiver water in de halfgeleiderindustrie. Ontworpen ter ondersteuning van toekomstbestendige chipproductie.

Spreek met een expert Productportfolio

Klaar voor het Ångström-tijdperk?

Naarmate chipstructuren tot op het niveau van atomen worden verkleind, zijn zelfs de kleinste verontreinigingen van belang. Traditionele materialen bereiken hun grenzen, terwijl producenten onder toenemende druk staan door extreme zuiverheidseisen, snellere opstarttijden, duurzaamheidsdoelstellingen en PFAS-gerelateerde beperkingen. Bij de productie van de volgende generatie halfgeleiders is de kwaliteit van (heet) ultrapuur water ((H)UPW) niet langer alleen een proceseis. Het is een strategische factor voor opbrengst, betrouwbaarheid en innovatieplannen.

SYGEF Ultra is ontworpen voor precies deze ontwikkeling. Het combineert hoge zuiverheidsprestaties, een snellere opstart van het systeem en een toekomstgerichte materiaalbenadering in één geïntegreerde leidingoplossing, ontworpen voor technologieën zoals Gate-All-Around (GAA), Complementary Field-Effect transistors (CFET) en nog veel meer.

Ontworpen voor zuiverheid, snelheid en gereedheid voor de toekomst

SYGEF Ultra is ontworpen om te voldoen aan de steeds strengere zuiverheidseisen van de geavanceerde halfgeleiderproductie. De materiaaleigenschappen zorgen voor uitstekende uitloogprestaties en een stabiel transport van UPW. Tegelijkertijd maakt het systeem aanzienlijk kortere spoeltijden mogelijk en helpt het faciliteiten om sneller van installatie naar ingebruikname over te gaan. Met PEEK-HP biedt SYGEF Ultra bovendien een materiaal zonder fluorpolymeren dat voldoet aan de steeds strengere wettelijke eisen, met een verwachte levensduur van meer dan 25 jaar veilig gebruik.

Meer over het systeem

Gebouwd voor geavanceerde (H)UPW-systemen

SYGEF Ultra is speciaal ontwikkeld voor ultrapuurwatertoepassingen bij zowel hoge temperaturen als kamertemperatuur voor waterbehandelings- en distributiesystemen binnen de halfgeleiderindustrie. Het ondersteunt gebruik in systemen, waar consistente zuiverheid en betrouwbare prestaties essentieel zijn. Het systeem integreert naadloos in de complexe infrastructuren van halfgeleiderproductie en overstijgt de toekomstige strenge eisen van de International Roadmap for Devices and Systems (IRDS).

Het verhaal achter de innovatie

Marktbehoeften omzetten in innovatie wanneer zuiverheidsstandaarden sneller stijgen dan ooit: we spraken met de experts achter het project om te ontdekken hoe de oplossingen van morgen worden ontwikkeld – van geavanceerde materialen en extreme uitdagingen tot operationele realiteit in de fabriek.

Bekijk het hele verhaal

Complete oplossingen voor vloeistofafhandeling voor micro-elektronica toepassingen

30 jaar branche-ervaring

GF ondersteunt de halfgeleiderproductie met wateroplossingen die speciaal zijn ontwikkeld voor veeleisende omgevingen. Dankzij onze decennialange ervaring leveren wij systemen die voldoen aan strenge eisen op het gebied van zuiverheid en betrouwbaarheid, van wateraanvoer tot aan het gebruik in het proces.

Volledige oplossingen voor (H)UPW

SYGEF Ultra maakt deel uit van ons volledige portfolio voor transport, recirculatie en distributielussen van (heet) ultrapuur water in de halfgeleiderindustrie, en vormt een aanvulling op onze PVDF-, PVDF-HP- en PP-oplossingen.

Afvalwaterbehandeling

Betrouwbare kunststofleidingsystemen met hoge chemische bestendigheid voor veilige en contaminatievrije afvoernetwerken. Ideaal voor toepassingen met gevaarlijke stoffen en hoogzuivere  chemicaliën in veeleisende productieomgevingen.

 

 

Industriële proceskoeling

Betrouwbare leidingsystemen voor proceskoeling in de halfgeleiderproductie. Ontworpen voor effectieve warmteafvoer en maximale processtabiliteit in veeleisende productieomgevingen.

 

 

Veelgestelde vragen

Voor welke (H)UPW-toepassingen is SYGEF Ultra ideaal?

SYGEF Ultra is een optimale oplossing voor het efficiënt transporteren van (H)UPW voor de meest geavanceerde procestechnologieën (<10nm tot aan de fysieke grenzen). Ontwikkeld voor de eisen van de nieuwste generatie halfgeleiders, is het klaar voor het Ångström-tijdperk. Zowel ultrapuur water op kamertemperatuur als hoge tempratuur worden ondersteund. Dankzij de hoge materiaalkwaliteit en chemische bestendigheid is SYGEF Ultra ideaal voor toepassingen binnen de ultrapure waterbehandeling en distributieketen—inclusief centrale systemen, recirculatielussen en aansluitingen aan het gebruikspunt.

Wat biedt het SYGEF Ultra (PEEK-HP) portfolio?

SYGEF Ultra is speciaal door GF ontwikkeld voor ultrapuurwatertoepassingen bij zowel hoge temperaturen als kamertemperatuur, bestemd voor halfgeleidertechnologieën van de volgende generatie. Het portfolio omvat PEEK-buizen, PEEK-fittingen en PEEK-afsluiters (PN 16) in de volgende afmetingen: d20; d25; d32; d50; d63; d90; d110; d160. GF heeft een gespecialiseerde verbindingstechnologie ontwikkeld, ondersteund door geïntegreerde Kwaliteitsborging en Kwaliteitscontrole (QA/QC) processen, voor veilige, betrouwbare en consistente verbindingen in het gehele leidingsysteem.

Bekijk het SYGEF Ultra portfolio

SYGEF Ultra wordt geleverd als een prefab-oplossing:

  • Klaar voor installatie: geprefabriceerde PEEK-HP-buisrekken, high-purity spoelen, skids, lusassemblages en tool hook-ups
  • In-house ontwerp van spannings- en ondersteuningssystemen, geoptimaliseerd voor cleanroom-compatibiliteit, thermische uitzetting en trillingsbeheersing in zeer zuivere omgevingen.
  • Levering op tijd en volgens specificatie

Het hoogwaardige systeem wordt ondersteund door het complete assortiment  van GF bestaande uit buizen, fittingen, afsluiters en lastechnologie, speciaal ontworpen voor ultrapure toepassingen. 

Bekijk het Micro-elektronica portfolio van GF

Hoe zag het testproces eruit?

De rinse-down-tijd is gebaseerd op testen uitgevoerd door CT Associates onder gecontroleerde omstandigheden. De testopstelling bestond uit een PEEK-buisinstallatie en twee 5m PVDF-HP-spoelen, representatief voor typische toepassingsscenario’s. Alle testen werden uitgevoerd bij een UPW-temperatuur van 85 °C.

Voor meer informatie over testen, spreek met een expert.

Waarom is PEEK-HP het ideale materiaal voor de nieuwste generatie halfgeleiderproductie?

PEEK (polyetheretherketon) wordt veel gebruikt in halfgeleidertoepassingen omdat het hoge zuiverheid en thermische stabiliteit combineert – allemaal cruciaal in ultra-schone productieomgevingen. Het SYGEF Ultra-systeem is vervaardigd van een specifiek High Purity PolyEtherEtherKetone (PEEK), een hoogwaardig polymeer dat bekend staat om zijn uitstekende prestaties in veeleisende industriële toepassingen. Het combineert uitstekende mechanische sterkte bij verhoogde temperaturen en slagvastheid met zuiverheidsniveaus die SEMI F57 ruimschoots overtreffen. Specifiek behoudt PEEK zijn uitstekende mechanische eigenschappen bij continue bedrijfstemperaturen tot zelfs 250 °C, terwijl het een zeer lage thermische uitzetting en hoge dimensionele stabiliteit vertoont. Voor toepassingen met hoge zuiverheid heeft PEEK een uitzonderlijk lage uitloogwaarde wat betreft TOC en ionische contaminatie, doordat het materiaal zonder additieven kan worden verwerkt en gebruikt. Deze eigenschappen maken het bijzonder geschikt voor systemen met ultrapuur water (UPW) en heet ultrapuur water (HUPW) in de halfgeleiderproductie, waar de hoogste zuiverheidsnormen zelfs bij hoge temperaturen en drukken moeten worden gehandhaafd.

Voor meer informatie over het gedrag van het materiaal, bekijk onze Industry Planning Fundamentals. 

Het toenemende belang van dit soort materiaaleigenschappen wordt onderstreept door de International Roadmap for Devices and Systems (IRDS), die steeds strengere contaminatielimieten aangeeft door geavanceerde apparaatarchitecturen zoals Gate-All-Around (GAA) en Complementary FET (CFET). Nu apparaatgeometrieën verder krimpen naar de ångström-schaal, worden de eisen aan zuiverheidsbeheersing steeds scherper – tot in het sub-ppb (“parts per billion”) en zelfs ppt (“parts per trillion”) bereik.¹

1 IRDS (2023) International Roadmap for Devices and Systems: 2023 Edition. IEEE. Beschikbaar op: https://irds.ieee.org (Geraadpleegd: 5 mei 2026).

Wat is het Ångström-tijdperk?

Het Ångström-tijdperk markeert de volgende fase in halfgeleiderproductie, waarbij kritische chipkenmerken niet langer worden gemeten in nanometers maar in ångström (Å). Op deze schaal naderen de transistorafmetingen de grootte van individuele atomen, waarmee de grenzen van extreme miniaturisatie worden bereikt. Naarmate de Wet van Moore voortschrijdt, zijn featuregroottes geleidelijk gekrompen van micrometers naar nanometers – en treden nu het ångström-bereik binnen.

Deze verschuiving heeft direct invloed op de UPW-eisen in halfgeleiderfabricage. Naarmate apparaatgeometrieën kleiner worden, worden de zuiverheidsnormen aanzienlijk strenger en neemt de systeemcomplexiteit toe om contaminatiecontrole op near-atomaire niveaus te garanderen.

Het nieuw geïntroduceerde SYGEF Ultra systeem is ontworpen om tegemoet te komen aan deze veranderende eisen. Het stelt geavanceerde halfgeleiderfabrikanten in staat om gelijke tred te houden met ontwikkelingen in de industrie, zoals AI-gedreven prestatie-eisen, krimpende node-groottes en steeds ambitieuzere duurzaamheidsdoelstellingen.

De term “Ångström-tijdperk” werd geïntroduceerd door Intel in 2021 als onderdeel van zijn bijgewerkte benaming van halfgeleider-procesnodes, waarbij de overgang wordt gemarkeerd naar technologieën op angström-niveau (bijv. Intel 20A, 18A), zoals uiteengezet tijdens het Intel Accelerated event.2

2 Intel, “Intel Accelerated: Process and Packaging Innovations”, 26 juli 2021.

Hoe voldoet het SYGEF Ultra-systeem aan wereldwijde normen?

Het SYGEF Ultra (PEEK-HP) systeem is ontwikkeld volgens internationaal erkende industriële richtlijnen en ontwerpprincipes. Omdat het een innovatief systeem betreft, zijn er nog geen volledig vastgestelde internationale productnormen. 

SYGEF Ultra voldoet aan:

  • DIN
  • DVS

Bovendien zijn het systeemontwerp, testmethoden en prestatie-eisen gebaseerd op relevante normen, zoals:

  • ISO
  • EN
  • ASTM
  • SEMI

Voor meer details verwijzen we naar onze Planning Fundamentals documentatie.

Waarom is PEEK een niet-PFAS-materiaal?

PFAS wordt door de Organisatie voor Economische Samenwerking en Ontwikkeling (OESO) [1] gedefinieerd als “gefluoreerde stoffen die ten minste één volledig gefluoreerde methyl- of methyleengroep bevatten (zonder enige H/Cl/Br/I-atoom eraan), d.w.z. met enkele uitzonderingen is elke chemische stof met ten minste een perfluormethyl- (–CF3) of perfluormethyleengroep (–CF2–) een PFAS.” Deze OESO-definitie wordt ook gehanteerd in de huidige versie van het Annex XV beperkingsvoorstel [2] onder de kaders van Verordening (EG) nr. 1907/2006 (REACH-verordening).

SYGEF Ultra is een leidingsysteem vervaardigd uit PolyEtherEtherKetone (PEEK). De PEEK-hars die gebruikt wordt voor de productie voldoet niet aan bovenstaande OESO-definitie van PFAS. Het is echter belangrijk op te merken dat veel gebruikte afdichtings- en pakkingsmaterialen zoals fluorelastomeren (FKM) en polytetrafluorethyleen (PTFE) fluorhoudende materialen zijn en daarom niet als PFAS-vrij worden beschouwd. Hierdoor wordt SYGEF Ultra als leidingsysteem niet als PFAS-vrij beschouwd.

[1] OECD (2021), Reconciling Terminology of the Universe of Per- and Polyfluoroalkyl Substances: Recommendations and Practical Guidance, OECD Series on Risk Management, No. 61, OECD Publishing, Parijs. Beschikbaar op: https://www.oecd.org/chemicalsafety/portal-perfluorinated-chemicals/terminology-per-and-polyfluoroalkyl-substances.pdf

[2] European Chemicals Agency (ECHA) (2023), Per- and Polyfluoroalkyl Substances (PFAS) Restriction Proposal under REACH, Restrictions under Consideration, European Chemicals Agency, Helsinki. Beschikbaar op: https://echa.europa.eu/restrictions-under-consideration/-/substance-rev/72301/term