SYGEF Ultra

SYGEF Ultra est une solution optimale pour le transport efficace d’eau ultrapure (HUPW/UPW) destinée aux technologies de fabrication les plus avancées (< 10 nm, jusqu’aux limites physiques). Conçu pour répondre aux exigences des générations futures de semi-conducteurs, il est prêt pour l’ère de l’angström et convient aussi bien aux applications d’eau ultrapure chaude qu’à température ambiante. Ses propriétés de haute pureté et sa résistance chimique le rendent particulièrement adapté à l’ensemble de la chaîne de traitement et de distribution de l’eau ultrapure, notamment aux systèmes centraux, aux boucles de recirculation et aux raccordements au point d’utilisation (hook-up).

GF a développé SYGEF Ultra pour les systèmes d’eau ultrapure chaude et à température ambiante destinés aux technologies de nouvelle génération dans l’industrie des semi-conducteurs. La gamme comprend des tubes PEEK, des raccords PEEK et des vannes PEEK (PN 16) dans les dimensions suivantes : d20 ; d25 ; d32 ; d50 ; d63 ; d90 ; d110 ; d160. GF a développé une technologie d’assemblage dédiée, associée à des processus intégrés d’assurance et de contrôle qualité (QA/QC), afin de garantir des raccordements sûrs, fiables et homogènes sur l’ensemble du système de tuyauterie.

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SYGEF Ultra est proposé sous la forme d’une solution préfabriquée :

• Éléments prêts à installer : racks de tubes PEEK-HP préfabriqués, spools haute pureté, skids, ensembles de boucles et raccordements aux équipements.
• Conception en interne des contraintes et des supports, optimisée pour la compatibilité avec les salles blanches, la dilatation thermique et le contrôle des vibrations dans les environnements haute pureté.
• Livraison dans les délais et conformément aux spécifications.

Ce système haute performance est complété par la gamme complète de solutions de gestion des fluides de GF, comprenant des tubes, raccords, vannes et technologies de soudage, spécialement conçus pour les applications d’eau ultrapure.

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Le temps de rinçage est basé sur des essais réalisés par CT Associates dans des conditions contrôlées. Le protocole d’essai comprenait une installation en tube PEEK et deux spools PVDF-HP de 5 m, représentatifs de scénarios d’application typiques. Tous les essais ont été réalisés avec une eau ultrapure (UPW) à une température de 85 °C.

Pour plus d’informations détaillées sur les tests, contactez nos experts.

Le PEEK (polyétheréthercétone) est largement utilisé dans les applications liées aux semi-conducteurs, car il associe une grande pureté et une excellente stabilité thermique, deux propriétés essentielles dans les environnements de fabrication ultra-propres. Le système SYGEF Ultra est fabriqué à partir d’un PEEK haute pureté (PEEK-HP), un polymère haute performance reconnu pour ses excellentes propriétés dans les applications industrielles les plus exigeantes. Il associe une excellente résistance mécanique à haute température et une forte résistance aux chocs, tout en offrant des niveaux de pureté qui dépassent largement les exigences de la norme SEMI F57.  Le PEEK conserve notamment ses excellentes propriétés mécaniques à des températures de fonctionnement continues pouvant atteindre 250 °C, tout en présentant une très faible dilatation thermique et une grande stabilité dimensionnelle. Pour les applications haute pureté, le PEEK présente également un très faible niveau de substances extractibles, notamment en matière de COT (carbone organique total) et de contamination ionique, grâce à la possibilité de transformer et d’utiliser le matériau sans additifs. Ces propriétés rendent le PEEK particulièrement adapté aux systèmes d’eau ultrapure (UPW) et d’eau ultrapure chaude (HUPW) utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, où les exigences de pureté les plus strictes doivent être maintenues, y compris à des températures et pressions élevées.

Pour plus d’informations sur le comportement du matériau, consultez nos Planning fondamentaux pour l'industrie. 

L’importance croissante de ces performances matériaux est également soulignée par l’International Roadmap for Devices and Systems (IRDS), qui met en évidence le renforcement continu des exigences en matière de contrôle de la contamination, notamment sous l’effet de l’évolution des architectures de composants telles que les Gate-All-Around (GAA) et les Complementary FET (CFET). À mesure que les dimensions des composants continuent de diminuer pour atteindre l’échelle de l’angström, les exigences en matière de contrôle des impuretés deviennent de plus en plus strictes, avec des niveaux de contamination pouvant atteindre le sous-ppb (partie par milliard), voire le ppt (partie par billion).¹

¹ IRDS (2023) International Roadmap for Devices and Systems: 2023 Edition. IEEE. Disponible sur : https://irds.ieee.org (Consulté le : 5 mai 2026).

L’ère de l’angström marque une nouvelle étape dans la fabrication des semi-conducteurs, où les dimensions critiques des composants ne sont plus exprimées uniquement en nanomètres, mais également en ångströms (Å). À cette échelle, les dimensions des transistors se rapprochent de la taille des atomes individuels, illustrant les limites de la miniaturisation extrême. Au fil de l’évolution de la loi de Moore, les dimensions des composants ont progressivement diminué, passant des micromètres aux nanomètres, et entrent désormais dans la gamme de l’angström.

Cette évolution a un impact direct sur les exigences en matière d’eau ultrapure (UPW) dans la fabrication des semi-conducteurs. À mesure que les géométries des composants diminuent, les exigences de pureté deviennent nettement plus strictes, tandis que la complexité des systèmes augmente afin de garantir un contrôle de la contamination à une échelle proche de l’atome.

Le nouveau système SYGEF Ultra est conçu pour répondre à ces exigences en constante évolution. Il permet aux fabricants de semi-conducteurs de pointe de suivre les évolutions du secteur, notamment les exigences de performance liées à l’IA, la réduction continue de la taille des nœuds technologiques et des objectifs de durabilité toujours plus ambitieux.

Le terme « ère de l’angström » a été introduit par Intel en 2021 dans le cadre de sa nouvelle nomenclature des nœuds technologiques, marquant la transition au-delà des technologies à l’échelle nanométrique vers des dimensions exprimées en ångströms, avec des appellations telles que Intel 20A et 18A, présentées lors de l’événement Intel Accelerated du 26 juillet 2021.²

² Intel, “Intel Accelerated: Process and Packaging Innovations”, 26 juillet 2021.

Le système SYGEF Ultra (PEEK-HP) a été développé conformément aux pratiques industrielles et principes de conception reconnus à l'échelle internationale. En tant que système innovant, les normes internationales spécifiques à ce type de produit ne sont pas encore totalement établies.

SYGEF Ultra est conforme à :

• DIN
• DVS

De plus, la conception du système, les méthodes d’essais et les exigences de performance s’appuient sur les normes pertinentes, notamment :

• ISO
• EN
• ASTM
• SEMI

Pour plus d’informations, veuillez consulter notre documentation Planning fondamentaux.

Les PFAS sont définis par l’Organisation de Coopération et de Développement Économiques (OCDE) [1] comme « des substances fluorées qui contiennent au moins un atome de carbone méthyl ou méthylène entièrement fluoré (sans aucun atome d’H/Cl/Br/I attaché), c’est-à-dire, à quelques exceptions près, toute substance chimique comportant au moins un groupe méthyle perfluoré (–CF3) ou un groupe méthylène perfluoré (–CF2–) est un PFAS. » Cette définition de l’OCDE est également utilisée dans la version actuelle de la proposition de restriction Annexe XV [2] déposée au titre du Règlement (CE) n° 1907/2006 (Règlement REACH).

SYGEF Ultra est un système de tuyauterie fabriqué en PolyEtherEtherCétone (PEEK). La résine PEEK utilisée pour la production ne répond pas à la définition ci-dessus de l’OCDE pour les PFAS. Il convient toutefois de noter que les matériaux d’étanchéité couramment utilisés tels que les fluoroélastomères (FKM) et le polytetrafluoroéthylène (PTFE) sont des matériaux fluorés et ne sont donc pas considérés comme exempts de PFAS. Ainsi, bien que la résine PEEK utilisée dans SYGEF Ultra ne soit pas un PFAS, le système de tuyauterie SYGEF Ultra dans son ensemble ne peut pas être considéré comme exempt de PFAS.

[1] OCDE (2021), Harmonisation de la terminologie de l’univers des substances per- et polyfluoroalkylées : Recommandations et conseils pratiques, Série OCDE sur la gestion des risques, n° 61, OCDE Publishing, Paris. Disponible sur : https://www.oecd.org/chemicalsafety/portal-perfluorinated-chemicals/terminology-per-and-polyfluoroalkyl-substances.pdf

[2] Agence européenne des produits chimiques (ECHA) (2023), Proposition de restriction des substances per- et polyfluoroalkylées (PFAS) dans le cadre de REACH, Restrictions à l’étude, Agence européenne des produits chimiques, Helsinki. Disponible sur : https://echa.europa.eu/restrictions-under-consideration/-/substance-rev/72301/term