随着芯片结构缩小至原子级，从纳米时代走向埃时代，哪怕最小的污染也变得至关重要。传统材料已接近极限，而工厂正面临极致纯净度、更快产能爬坡、可持续目标和PFAS相关限制带来的压力。在新一代半导体制造中，(H)UPW（超纯水/热超纯水）质量已不仅仅是工艺要求，更成为良率、可靠性与创新路线图的战略性因素。
SYGEF Ultra 正是为这一变革而生。它集高纯性能、更快系统爬坡以及前瞻性材料选择于一体，为诸如环栅晶体管 (GAA)、互补场效应晶体管 (CFET) 及以后技术打造集成管路解决方案。
SYGEF Ultra 专为满足先进半导体制造日益严苛的纯度需求而设计。其材料特性确保出色的析出性能和稳定的超纯水输送。同时，系统大幅缩短了冲洗时间，帮助工厂更快从安装进入运行状态。通过PEEK-HP，SYGEF Ultra 提供了一种契合最新法规要求的非氟聚合物材料，预计，安全使用寿命可达25年以上。
SYGEF Ultra 专为半导体工厂的热及常温超纯水各类处理和分配系统应用设计。适用于循环及接入环节，在这些场合下，持续纯净和系统可靠性能至关重要。该系统可无缝集成到复杂的工厂基础设施中，并超过未来更严格的国际器件与系统路线图（IRDS）要求。
SYGEF Ultra 是高效输送(H)UPW（超纯水/热超纯水）以满足最先进工艺技术（<10nm 直至物理极限）的理想解决方案。针对新一代半导体需求而设计，面向埃时代未来，支持热及常温超纯水应用。其高纯度材料特性和化学耐受性，使其非常适用于超纯 水处理与分配链路——涵盖中央系统、循环回路、终端接入等应用场合。
GF专为下一代半导体技术的热及常温超纯水系统开发了SYGEF Ultra 产品组合，包括PEEK管道、PEEK管件及PEEK阀门（PN 16），规格涵盖：d20; d25; d32; d50; d63; d90; d110; d160。GF还开发了专属焊接技术，并配套完善的质量保证与质量控制 (QA/QC)流程，确保整个管路系统安全、可靠且稳定连接。
SYGEF Ultra采用预制化交付方案：
该高性能系统还结合了GF全系列流体解决方案元件，包括管道、管件、阀门和焊接技术，皆为超纯领域应用而设计。
冲洗时间基于CT Associates在受控条件下进行的测试。测试装置包括一套PEEK管道和两套5米PVDF-HP拼接段，模拟了典型应用情况。所有测试均在85°C超纯水条件下完成。
如需详细测试资料，请洽询专家。
PEEK（聚醚醚酮）因其高纯度与热稳定性，广泛应用于半导体领域，这些特性在超洁净制造环境中尤为关键。SYGEF Ultra系统采用专用高纯聚醚醚酮（PEEK），这是一种高性能聚合物，以其在严苛工业应用中的卓越表现广为人知。它兼具高温下出色的机械强度与冲击性，同时纯净度远超SEMI F57标准。特别是，PEEK在持续运行温度高达250°C时仍能保持卓越机械性能，热膨胀极低，尺寸稳定性高。对于高纯领域应用，PEEK在总有机碳（TOC）及离子杂质析出方面表现异常优异，且材料可无添加剂加工与使用。这些特性使其特别适用于半导体制造中的超纯水（UPW）与热超纯水（HUPW）管路系统，能够在高温、高压下依然保持极致纯度。
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此类材料性能的重要性，正被国际器件与系统路线图（IRDS）所强调，该文件指出，随着器件结构趋向更高级的环栅晶体管(GAA)、互补场效应管(CFET)等，污染容忍极限正日益苛刻。随着器件尺寸逐步缩小到埃级，杂质控制要求趋向亚十亿分之一(ppb)甚至万亿分之一(ppt)级别。¹
1 IRDS (2023) International Roadmap for Devices and Systems: 2023 Edition. IEEE. 链接：https://irds.ieee.org (访问时间：2026年5月5日)。
埃时代是半导体制造步入全新阶段的标志，此时的芯片关键特征尺寸已从纳米级进入以埃（Å）为单位。此尺度下，晶体管尺寸逼近单个原子，代表极致微型化的物理极限。随着摩尔定律推进，特征尺寸已从微米级逐步降至纳米级——如今正迈入埃级时代。
这一变革对半导体生产中的超纯水要求提出了直接挑战。随着器件结构变小，纯度标准更为严苛，系统复杂性也同步提升，以确保近乎原子级别的污染控制。
新一代SYGEF Ultra 系统正是为满足这些不断演进的需求而设计，使先进半导体制造商能够跟上诸如AI驱动性能需求、制程节点缩小及更高可持续目标等产业发展步伐。
“埃时代”一词由Intel于2021年首次提出，作为其半导体制程节点命名更新的组成部分，标志着行业从纳米级技术向埃级迈进（如 Intel 20A、18A），详见 Intel 于Intel Accelerated 活动中的专题介绍。2
2 Intel, “Intel Accelerated: Process and Packaging Innovations”, 2021年7月26日。
SYGEF Ultra（PEEK-HP）系统依据国际公认可的行业实践及设计原则开发。作为创新型系统，其产品国际标准尚未完全建立。
SYGEF Ultra符合以下标准：
此外，系统设计、测试方法及性能要求均以相关标准为依据，如：
详细信息请参阅我们的规划基础文档。
经济合作与发展组织(OECD) [1]对PFAS的定义为：“含有至少一个全氟甲基或全氟亚甲基碳原子(该碳原子不结合任何H/Cl/Br/I原子)的氟化物，即除少数例外，任何含有至少一个全氟甲基基团(–CF3)或全氟亚甲基基团(–CF2–)的化学品，即为PFAS。”该OECD定义同时被最新Annex XV限制提案 [2]（欧盟REACH法规(EC)第1907/2006号）引用。
SYGEF Ultra是一种采用聚醚醚酮(PEEK)制造的管路系统。其生产所用PEEK树脂不符合OECD上述PFAS定义。然而，常用的密封圈及垫圈材料，如氟橡胶(FKM)和聚四氟乙烯(PTFE)，皆为含氟材料，因此不被视为无PFAS材料。因此，SYGEF Ultra 作为管路系统不视为无PFAS。
[1] OECD (2021)，《Reconciling Terminology of the Universe of Per- and Polyfluoroalkyl Substances: Recommendations and Practical Guidance》，OECD风险管理系列第61号，OECD出版社，巴黎。链接：https://www.oecd.org/chemicalsafety/portal-perfluorinated-chemicals/terminology-per-and-polyfluoroalkyl-substances.pdf
[2] 欧洲化学品管理局(ECHA) (2023)，《Per- and Polyfluoroalkyl Substances (PFAS) Restriction Proposal under REACH》，限制考虑中，欧洲化学品管理局，赫尔辛基。链接：https://echa.europa.eu/restrictions-under-consideration/-/substance-rev/72301/term
