Family of products for ultrapure water

SYGEF Ultra

SYGEF Ultra 专为支持面向未来的芯片制造而设计,是先进的高纯PEEK管道解决方案,用于半导体工厂中(热)超纯水输送。

(热)超纯水输送

SYGEF Ultra 是一款高性能管道系统,专为先进半导体制造(<10nm)中的(热)超纯水应用而设计。其采用高纯PEEK制造,兼具出色的析出特性和非氟材料方案——助力半导体制造商达到严格的纯度目标和不断演进的监管要求。该系统冲洗速度快,运行可靠,始终如一地提供高纯度表现。作为GF预制解决方案的一部分交付,SYGEF Ultra 能够在严苛的工厂环境中实现可靠安装和可控的系统质量。

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一览优势

~80% 冲洗时间缩短*

  • 从30多天缩短至不到3天——达到SEMI F63 TOC水平
  • 冲洗达到SEMI F63 氟化物水平的速度提升6倍

PEEK,非PFAS材料**

  • 为先进(热)超纯水输送而开发的理想材料,包含专用连接解决方案
  • PEEK-HP产品组合专为下一代半导体(亚10纳米节点)设计

近乎零污染

  • 远超SEMI F123指南及F57标准
  • 优异的析出性能:TOC、阴离子和阳离子析出
  • 表面光滑

元件减少约20%

  • 机架间管道跨度增加约50%
  • 热膨胀减少约70%
  • 可实现最少数量的膨胀环路

*性能对比是在 SYGEF Ultra(PEEK)与 PVDF-HP 系统之间进行的。

**关于 PFAS 的定义详情见 gfps.com/sygef-ultra

全流程支持您的项目

从设计到交付

SYGEF Ultra 是作为综合解决方案的一部分交付的。GF 是您执行新一代超纯水项目的合作伙伴,能够在流程每一个阶段为您提供从工程设计到预制的一站式支持。该集成模式可降低复杂性、提升规划可靠性,并确保项目各阶段的一致质量。如需支持,我们还可为合格安装合作伙伴提供额外培训,助力系统长期优异运行。

我们的服务包括:

  • 方案设计与工程
  • 预制与交付
  • 项目执行

联系我们 ,共商您的项目方案。

半导体制造厂的不同区域——如中间层及风机层、洁净室、底层车间及公用系统区——有其独特的运行要求,需要定制化工艺方案。我们将帮助您根据每个环境的具体功能、工况、流体应用及材料要求,选择最优解决方案。

面向严苛微电子应用的其它管道解决方案

30年行业经验

GF 为半导体工厂提供专为极端生产环境打造的水处理解决方案。凭借数十年经验,我们提供满足高纯度与高可靠性要求的系统。

 

 

SYGEF Plus(PVDF-HP)

SYGEF Plus是一款高性能PVDF-HP管道系统,专为微电子生产环境中对卓越纯度和严苛粒子控制有极高要求的应用而开发。

 

PROGEF Plus(PP-H)

PP-H系统的专业化生产和包装,结合经认可的析出评价和认证的无涂漆沾污物质保证,确保了最高质量与安全标准。

 

CONTAIN-IT Plus

一套方案,双重安全——安全可靠,专为有害流体输送而设计。CONTAIN-IT Plus 在微电子生产环境中为有害介质运输提供完美适配与极致安全。

 

 

快速达到纯度很重要

SYGEF Ultra 有效缩短冲洗时间,帮助超纯水系统更快投入运行。

Georg Fischer Piping Systems Ltd Shanghai

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